Pfeiffer普發(fā)TMH261X儀用分子泵保養(yǎng),德國普發(fā)TMU261/TMH261P真空分子泵進氣法蘭口DN100ISO-KF/DN100CF-F,出氣法蘭口DN25 ISO-KF,抽速可達到210 L/s,其轉(zhuǎn)速為60000rpm
普發(fā)pfeiffer TMH261渦輪泵加上TC 600控制器,形成一個完整的單元。這個系統(tǒng)需要空氣冷卻或水冷卻。TMH 261采用無磨損的永磁軸承在高真空側(cè)和油潤滑的陶瓷球軸承在真空側(cè)。TMH 261只能用于產(chǎn)生真空。如果過程產(chǎn)生灰塵,必須zhi定相應(yīng)的維護間隔,如果用超過50%的允許氣體負荷操作泵,必須使用密封氣體。




