抽速:
使用 CFF 6 英寸或 ISO 100:使用 CFF 8 英寸或 ISO 160:
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N2:250 L/s
N2:250 L/s
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He:255 L/s
He:255 L/s
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H2:220 L/s
H2:220 L/s
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Ar:250 L/s
Ar:250 L/s
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全轉(zhuǎn)速zui大氣載(使用推薦前級(jí)泵)
環(huán)境溫度 (25 °C)
水溫 (25 °C,50 L/h)
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N2:170 sccm
N2:170 sccm
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Ar:110 sccm
Ar:110 sccm
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壓縮比與前級(jí)壓力關(guān)系:
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N2:> 1 × 1011
N2:> 10 mbar
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He:> 1 × 108
H2:> 10 mbar
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H2:1.5 × 106
H2:> 4 mbar
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Ar:> 1 × 1011
Ar:> 10 mbar
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極限真空*(使用推薦的前級(jí)泵) (5 m3/h)
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< 1 × 10–10 mbar (< 1 × 10–10 Torr)
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抽氣口法蘭
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8 英寸外徑 CFF
2.6 英寸外徑 CFF
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ISO 160
ISO 100
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前級(jí)管道法蘭
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KF 16 NW(KF25 — 可選)
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轉(zhuǎn)速
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60000 rpm(1010 Hz 驅(qū)動(dòng)頻率)
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啟動(dòng)時(shí)間
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小于 3 分鐘
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推薦的前級(jí)泵
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機(jī)械:Agilent DS 102
干泵:Agilent SH 110
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工作位置
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任意
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操作環(huán)境溫度
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+5 °C 至 +35 °C
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空氣相對(duì)濕度
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0%–90%(無(wú)冷凝)
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烘烤溫度
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抽氣口法蘭zui高溫度 120 °C(CFF 法蘭)抽氣口法蘭zui高溫度 80 °C(ISO 法蘭)
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潤(rùn)滑油
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yognjiu性潤(rùn)滑
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冷卻要求
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風(fēng)扇冷卻(環(huán)境溫度 5–35 C)
水冷(如果環(huán)境高于 35 ℃,需強(qiáng)制水冷)
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冷卻水
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zui小流速:
50 L/h (0.89 GPM)
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溫度:
+15 ℃ 至 +30 ℃
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壓力:
3 至 5 bar(45 至 75 psi)
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噪聲聲壓級(jí)
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在 1 米處,< 50 dB(A)
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儲(chǔ)存溫度
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-40 °C 至 +70 °C
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zui高海拔
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3000 m
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重量 kg(磅):
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泵 ISO 100:
5.5 (12.3)
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泵 CFF 6 英寸:
7.5 kg (16.5)
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泵 ISO 160:
5.7 kg (12.6)
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泵 CFF 8 英寸:
9.7 kg (20.9)
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