Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵Hipace 300 技術參數(shù)：
型號接口 DN抽速 l/s壓縮比zui高啟動壓強hPa極限壓力
(理論值)全轉速氣體流量hPa l/s啟動時間重量
進氣口排氣口氮氣
N2氦氣He氫氣 H2氮氣
N2氮氣N2hPa氮氣N2minkg
HiPace 300 M10016255215170> 1X101120< 5X10–1028217.2
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